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萊寶CTR101N真空計(jì)說(shuō)明

此真空變送器提供四 (4) 位十進(jìn)制測(cè)量范圍，并基于薄膜與固定電極之間的電容進(jìn)行測(cè)量。不論處理氣體成分如何，其輸出均相同 – 無(wú)需氣體校正系數(shù)。傳感器會(huì)在內(nèi)部加熱到 45°C (113°F)，且此溫度由電子器件嚴(yán)密控制。
它的應(yīng)用非常廣泛，可用作獨(dú)立設(shè)備或與合適的控制設(shè)備配合使用。CTR 101 N 變送器的主要通信方式是其 0 – 10 伏直流模擬輸出信號(hào)。此輸出可連接至外部模擬設(shè)備，獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。此變送器還配備 RS232 數(shù)字通信接口，可設(shè)定變送器參數(shù)并提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量。有關(guān)此接口的詳情，請(qǐng)參閱指導(dǎo)手冊(cè) 300544665。
傳感器技術(shù)
此變送器通過(guò)測(cè)量薄金屬膜與圖案化電極之間的電容進(jìn)行工作。當(dāng)處理壓力發(fā)生變化時(shí)，薄膜改變其相對(duì)于電極的位置，促使電容發(fā)生改變。電容的變化與壓力的變化成正比。由于薄膜位置與氣體類型無(wú)關(guān)，因此不論氣體成分如何，變送器都提供相同的輸出信號(hào)。薄膜和傳感器全部由鎳合金構(gòu)成，這樣變送器就能有力抵御腐蝕或氧化所造成的損害。
應(yīng)用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如薄膜、分析和涂料工業(yè)中:
? 一般真空壓力測(cè)量。
? 氣體回填測(cè)量和控制。
? 薄膜沉積處理，例如蒸發(fā)、濺射和化學(xué)氣相沉積 (CVD)。
? 高級(jí)材料處理，例如真空爐和陶瓷燒結(jié)。
? 溶液和油液的真空脫氣。
? 等離子和化學(xué)清洗。
? 分析儀器，例如電子顯微鏡、熱分析儀和質(zhì)譜儀。

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