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XDS10/XDS5愛德華渦旋泵密封包詳細(xì)介紹

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Edwards XDS 和 nXDS 系列干式渦旋泵

Edwards 干式渦旋泵為各種應(yīng)用提供成熟的干式清潔真空解決方案。

當(dāng)需要無油抽空時，渦旋泵是旋片泵的替代品。

Edwards XDS35i 干式渦旋泵

Edwards XDS35i 干式渦旋泵

軸承護罩

確保制程氣體和軸承潤滑分離，以保證清潔真空并使?jié)櫥槐恢瞥虤怏w污染，從而延長軸承使用壽命。

智能電機驅(qū)動

意味著全程穩(wěn)定的性能、泵過載保護和遠(yuǎn)程啟動/停止功能。

高流速氣囊功能

允許泵送蒸汽，包括高達(dá) 240 gh-1 的水蒸汽

簡便的單側(cè)渦旋設(shè)計

可在數(shù)分鐘內(nèi)完成維護，以降低擁有成本并程度延長正常運行時間。

更進一步

增強型在初始抽空期間可減少多達(dá) 20％ 的峰值電力需求，這意味著它能夠在不損失性能的情況下抽空大容量腔室，且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達(dá) 25％，這也有助于提高應(yīng)用循環(huán)頻率。

XDS 干式渦旋泵

在干泵真空領(lǐng)域，XDS 干式渦旋泵已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，在廣泛的應(yīng)用中被證明是一種堅固耐用且清潔的真空泵解決方

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